Cho phép phân tích:
- Hình thái bề mặt
- Cấu trúc thành phần
- Cấu trúc tinh thể
- Quan sát và phân tích các mẫu dẫn điện hoặc không dân điện
- Chân không thấp (6~650Pa).
- Buồng mẫu kiểu kéo ra (cho mẫu kích thước lớn).
- Tích hợp được các đầu dò EDS, EBSD, WDS, CL.
- Phân giải: 3.0nm tại 30kV và 7.0nm tại 3kV.
